中瓷电子:公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系建立了完善的精密陶瓷零部件制造工im体育网页通用版入口艺平台
发布时间:2023-09-12 12:42:40

  同花顺300033)金融研究中心9月6日讯,有投资者向中瓷电子003031)提问, 公司表示开发的陶瓷产品具有高强度im体育网页通用版入口、耐腐蚀、高精度等优异性能,可应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备。请问公司在半导体领域国产替代的具体创新产品有哪些,是否已可批量供货,相关产品是否具有完全的自主产权和独家专利,是否同步有获得国内外相关专利技术。公司是否正在或计划与其他国内企业进行合作研发,将相关产品应用于刻蚀机im体育网页通用版入口、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等设备im体育网页通用版入口。

  公司回答表示,您好!公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件,具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能,应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系,建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台,开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证,实现了关键零部件的国产化,已批量应用于国产半导体关键设备中。谢谢您的关心。

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  已有220家主力机构披露2023-06-30报告期持股数据,持仓量总计4183.78万股,占流通A股60.22%

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